晶體硅太陽電池

多晶硅和C-Si基太陽能電池的質(zhì)量控制解決方案

SENperc PV是為PERC太陽能電池制造質(zhì)量控制而設(shè)計的。它測量SiO2、Al2O3和SiNX單層膜和疊層膜，這些單層膜和疊層膜用于PERC電池(多晶硅襯底和c-Si襯底)的正面反射和背面鈍化。對沉積過程的穩(wěn)定性進(jìn)行長時間的監(jiān)測。由此，優(yōu)化了維護(hù)時間間隔。

Al2O3和SiNx薄膜的厚度和折射率指數(shù)測量

SENperc PV 配備了基于配方的用于質(zhì)量控制按鈕操作。在樣品臺上放置一個PERC電池，涂有涂層的背面朝下以控制鈍化層。晶體硅太陽能電池插入到一個特殊的晶片架來分析防反射涂層。不需要對準(zhǔn)。雜散光不影響測量。測量到的厚度和折射率指數(shù)被保存到SQL數(shù)據(jù)庫中。

SiO2、Al2O3和SiNx沉積的長期穩(wěn)定性監(jiān)測

統(tǒng)計制程控制(SPC)被應(yīng)用于PERC太陽能電池的評估。預(yù)置范圍應(yīng)用于良率分析。向操作人員提供直接和長期的反饋，以便立即進(jìn)行干預(yù)。SQL數(shù)據(jù)庫在本地以及通過LAN可訪問，以支持電池跟蹤和良率分析。除了按鈕操作之外，SENpercPV還配備了強(qiáng)大的軟件接口，用于新配方的研發(fā)。